النظم الكهروميكانيكية المكروية

تتضمن المواضيع: مقدمة إلى النظم الكهروميكانيكية الدقيقة، تطبيقاتها وموادها، مبادئ الحساسات والمشغلات الميكروية: التحسس الميكانيكي، المكثفي، الكهرساكن، الكهرطيسي، الكهرضغطي؛ الأغشية الرقيقة، الخلائط ذات ذاكرة الشكل، قيادة مشط التحسس والتشغيل، حساس الوسادة الهوائية، الحساسات الكيميائية، التطبيقات الحيوية الطبية والصناعية؛ طرق التصنيع الميكروي (تقنيات الدارات المتكاملة): الصماغ الموجب والسالب، التصنيع الميكروي للسطح والركيزة، الحفر؛ تقنيات التوضيع (كتوضيع الأبخرة الكيميائية CVD)؛ تقنيات الطلي بالمعادن، تقنيات نسب الشكل الكبيرة الثلاثية الأبعاد.